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超精密加工技術

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內容簡介

　　「超精密加工」是為了追求更精密的精度，在新製品中以特定元件的專用工作機械，來集合技術精華而開發出來的。

　　本書內容涵蓋現今所有高科技領域，包含超精密加工機械、切削、研磨、拋光、微影成像、蝕刻技術及高精密透鏡等。

　　為目前政府推動高科技尖端工業不可或缺的工具書。本書適合機械科系之大專院校、研究所及相關產業之從業人員使用。

　　
 

目錄

　　ch01 超精密加工的必要性

  • 1-1 前言
  • 1-2 奈米技術
  • 1-3 超精密加工的用途
  • 1-4 超精密工法

    　　ch02 超精密加工機械

  • 2-1 前言
  • 2-2 超精密加工之設計
  • 2-3 迴轉要素
  • 2-4 直線運動要素
  • 2-5 定位控制
  • 2-6 機體構造
  • 2-7 環境

    　　ch03 超精密切削

  • 3-1前言
  • 3-2 超精密切削面的形狀
  • 3-3 切削工具
  • 3-4 利用單精鑽石
  • 3-5 鐵系材料切削
  • 3-6 超精密鑽石切削的應用例
  • 3-7 大輸出CO2雷射用反射透鏡
  • 3-8 具微細溝槽的柵狀透鏡
  • 3-9 結語

    　　ch04 超精密研磨

  • 4-1 特殊半導體基板的高精度研磨法
  • 4-2 精密陶瓷之鏡面研磨ch05 超精密拋光
  • 5-1 前言
  • 5-2 拋光加工的力學作用
  • 5-3 拋光加工的化學作用
  • 5-4 乾式超精密拋光
  • 5-5 結語

    　　ch06 微影成像及蝕刻

  • 6-1 微影成像
  • 6-2 蝕刻技術

    　　ch07 高精度塑膠透鏡

  • 7-1 前言
  • 7-2 高精度塑膠製品的現狀
  • 7-3 高精度塑膠透鏡的要素技術
  • 7-4 高精度塑膠透鏡的品質管制
  • 7-5 高精度塑膠透鏡的未來展望

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    詳細資料

    • ISBN：9789572129333
    • 規格：平裝 / 普通級 / 單色印刷
    • 出版地：台灣

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